标题：光学测量光切显微镜测量来表面粗糙度的方法
信息分类:站内新闻
作者:yiyi发布
时间:2015-7-17 15:02:48
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正文:
在光学测量法中着重利用干涉条纹的方法和光切法，利用干涉条
纹的方法以比光束干涉和往返干涉方式的干涉条纹的间隔作标准，
根据干涉条纹就可以测量表面的凹凸不平度，用触针法其触针尖的
半径为2-10μm，因此，对特别小的不平度也有测定限度，对测定
如此小的凹凸不平度用干涉条纹法比较适合。
空间电容法，是将被测表面上的凹凸不平及其上面所放的平面之
间产生的空间容积作为静电电容进行测量来表面粗糙度的方法，感
应电介质与被测表面手凹凸不平度间隙平均值，即所谓用中心线深
度表示表面粗糙度的方法，当被测物体是金属一类良好导体时，采
用电容法，可以直接进行测量，如是绝缘体时，则要蒸镀一层金属
，才进行测量。
出自http://www.bjsgyq.com/北京显微镜百科