标题:PEM-故障分析时最常用的电性定位仪器!搭配显微镜侦测缺陷波段!

信息分类:站内新闻   作者:yiyi发布   时间:2012-5-9 22:08:37 将本页加入收藏

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正文:

PEM-故障分析时最常用的电性定位仪器!搭配显微镜侦测缺陷波段!

PEM是IC Design House自行做故障分析时最常用的电性定位仪器,
它的原理简单的说就是利用一个显微镜配上一个光的感测器(Detector)来侦测因为缺陷所产生特定波段的光,
并把光点和之前撷取的晶片影像叠加(superimposition)起来,以达到缺陷处定位的目的










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