标题：表面微观形貌表面的微观几何特征分析显微镜
信息分类:站内新闻
作者:yiyi发布
时间:2016-12-7 1:40:48
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正文:
针对精密工程领域纳米级机械加工表面的检测技术问题，加
工材料纳米加工表面质量的检测评价方法、评价理论体系、检测仪
器、表面表征方法、表面预测的发展。通过各类检测仪器对实际零
件的典型检测实例，分析和说明纳米级表面质量测量的重要性、其
测量理论与方法的内涵。
通过表面质量的测量仪器测量方法的对比，分析指出原子力
显微镜测量的检测能力、参数指标和技术优势。虽然原子力显微镜
在应用上还存在一些理论与技术问题，但其将成为未来超精密纳米
加工表面检测的重要手段之一。
表面微观形貌的评价方法与评价体系
表面微观形貌是指表面的微观几何特性，也称为表面拓扑图像
(Surface Topography)，具体指表面所具有的微观几何形状信息，
并人为地依据波动间距的大小将其滤波分离出对应于大波动间距的
形状误差、对应于微小波动间距的表面粗糙度以及介于两者之间的
波纹度三类信息分别加以研究。
就机械加工表面而言，表面微观形貌是由机械加工过程中的各
种加工工序产生的，在很大程度上决定了所制零件的使用性能，直
接影响机械系统的摩擦磨损特性、接触刚度、疲劳强度、传动精度
、导电、导热和抗腐蚀性等，进一步影响产品质量及可靠性。近些
年来，由于工业和科学技术的快速发展，对表面形貌提出了越来越
高的要求。因此表面形貌的检测越来越引起人们的重视，特别是超
精密表面形貌测量技术成为近些年来最受关注的课题之一。
出自http://www.bjsgyq.com/北京显微镜百科