标题：光学技术引入表面形貌测量,非接触测量显微镜
信息分类:站内新闻
作者:yiyi发布
时间:2016-12-7 1:41:06
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正文:
光学式表面测量技术
光学技术被引入表面形貌测量，实现了非接触测量。光学表面形貌
测量法可分为光波干涉法、光散射计量法和聚焦探测法。
光波干涉法利用标准参考面和被测表面反射的光束产生干涉，
由显微镜将被测面的微观轮廓起伏转换为放大了的平面于涉条纹，
然后通过测量干涉条纹的相对变形来间接完成表面轮廓的测量。干
涉法主要有相移干涉法、差分干涉法和白光干涉法3种。利用干涉
接收的表面测量仪器具有测量信息直观和测量精度高等优点。近年
来相移技术在干涉形貌测量中的成功应用，更使干涉技术测量表面
形貌的精度和速度有了大幅度提高。但是，由于受到波长周期性的
限制，干涉条纹的强弱会随着光程差之间的增加而周期性地变化．
它在测量台阶高度超过所用光源波长的四分之一或较粗糙的表面时
将显得无能为力。
出自http://www.bjsgyq.com/北京显微镜百科