标题：线性误差可能有各种来源-以及直线度误差
信息分类:站内新闻
作者:yiyi发布
时间:2016-9-17 13:48:23
将本页加入收藏
下一篇：测量如角度、直线度和垂直度测量测量光学仪器
上一篇：角测量精度可在反射镜间距离微小变化-角测量误差
点击查看产品参数和报价--丨--
---
---
---
正文:
线性误差可能有各种来源-以及直线度误差
线性误差
线性误差可能有各种来源，包括沿导轨的几何缺陷和测量偏移
／误差。对于所研究的XY工作台，最大的误差可能是来自于螺纹运
动产生的非线性和反弹的有关误差。
螺纹运动的结构。机械接触的空气间隙可能导致实际的位移发生较
大变化。这或许也解释了正向和反向线性误差测量的差异。
直线度误差
直线度误差主要源于导轨。直线度误差测量是与一条参考直线的
垂直偏差得到的。对XY工作台直线度误差，有两个组成部分是可以
确定的，即与沿y轴线偏差有关的X轴直线度，以及与沿X轴线偏差
有关的y轴直线度。任何误差软件补偿计划的成效非常依赖于由规
定的校准方法获得的几何误差信息的可靠性。通过误差补偿，系统
组成部分的几何误差是相关的。随机性质的误差不能得到补偿。机
械校准过程中获得的误差测量将不可避免地包含系统误差和随机误
差两个部分。为正确补偿系统误差，有效地分开这两个组成部分是
至关重要的。现有的误差补偿方法中大多数都没有充分解决系统误
差补偿中随机误差的影响。补偿的几何误差通常以误差校准样本的
平均值为基准。这个均值基本上假定为一致的系统组件可补偿的误
差，因为随机误差假设是过滤后的过程平均值。不幸的是，基本上
这是不正确的，平均值的补偿可能导致严重不当的补偿，尤其是当
校准过程中存在着明显的随机误差。在校准工作中，由于短期和暂
时的干扰或噪声出现的无效样本或异常值，可以扭曲平均值偏离实
际的系统误差，因而使用误差平均值可能导致不足或过多补偿。因
此，采用一种加权方法考虑在误差样本中不同程度的随机误差分量
发生的概率，可以更准确和更可靠地提取系统误差补偿的数据集。
这样的统计方法需要大样本集进行校准，以便有足够大的数据存储
密度运作。这样也导致了自动化技术、基于DSP的数据记录和分析
系统的应用。
出自http://www.bjsgyq.com/北京显微镜百科