标题：测量如角度、直线度和垂直度测量测量光学仪器
信息分类:站内新闻
作者:yiyi发布
时间:2016-9-18 3:14:44
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正文:
测量如角度、直线度和垂直度测量测量光学仪器
激光测量系统概述
激光测量系统提供给机床制造商和用户机床精度定位必要的基
本的测量组成部件，使用补偿数据校正机械的定位误差。其基本系
统包括一个激光光源、补偿电子器件、光学器件、电缆及配件。通
常需要一台计算机控制系统和光学部件满足机械几何性能的具体测
量要求。为了校准，整个系统应能够收集和分析不同的测量数据，
包括线性误差、角度误差、直线度误差和垂直度误差。一个线性激
光的测量分辨率可高达1 nm。这是测量过程可以实现的高精度，它
使用了以精确激光波长为基础的距离测量计算，从而相比其他的测
量系统具有更高的精度。两频率激光技术还经常用来消除光束强度
变化所造成的种种问题，从而得到更好的鲁棒性和可靠性。激光束
基本上沿着干涉仪和相关反射镜之间做相对运动，所以大多数激光
测量系统进行的测量是一种线性测量。大多数情况下，干涉测量仪
是固定的光纤，角锥棱镜是移动部件。其他测量如角度、直线度和
垂直度测量，是基本线性测量实现的特殊应用。在许多激光测量系
统中，误差补偿表在激光测量和控制输入获得后可以自动生成。这
些表可用于伺服系统。
出自http://www.bjsgyq.com/北京显微镜百科