标题：测淀积温度应用两种类型的温度计：高温计和热电偶
信息分类:站内新闻
作者:yiyi发布
时间:2016-5-26 21:37:58
将本页加入收藏
下一篇：简化涂层截面分析金相图像显微镜制造
上一篇：真空涂层过程产品的质量技术分析图像显微镜
点击查看产品参数和报价--丨--
---
---
---
正文:
测淀积温度应用两种类型的温度计：高温计和热电偶
测淀积温度，主要应用两种类型的温度计：高温计和热电偶。
高温计
根据定义，高温计是一个用于高温测量的温度计。此温度
计一般用于淀积室，监测淀积温度。为了描述所关注的不同点的净
温度，几个这样的传感器可以安装在涂层装置内。不管对于整个生
产还是对于试验工厂，高温计都是节省成本和较灵敏的解决方案，
对于在原位、无接触、非破坏性的监测，高温计是可靠的工具。高
温计可以作为模拟或数字传感器，其具有与积分数据获取系统相连
接的基本结构。
热电偶
除了压力测量外，用热电偶也能进行非常精确的温度测量
，当两个不同的金属导线连接成一个线圈，并且两个连接点有不同
的温度时，会在热电偶内产生一个非常小的电压差(用毫伏计测量)
。既然电压依靠连接点的温度不同，其中一个点的温度必须保持已
知。否则，电子补偿线圈必须作为这个装置的组成部分来测量传感
器的实际温度。当提供电子绝缘和密封时，设计特殊的电子装置来
传送热电偶仪器的信号。
涂层过程控制中的气体分析器
对于涂层过程监测的一个非常重要的参数是过程残余气体
的分析和控制。在这种方法中，应用以前的经验，当选定的气体规
格超出预定的限制时，操作者通过报警器得到警告。结果可以避免
，系统的停工以及质量低劣的产品。在PVD涂层过程中必须控制的
气体数据如下：
·基本压力组成；
·气体纯度／组成；
·反应气体的分压力。
对于气体分析，应用一个所谓的四极质谱仪。
出自http://www.bjsgyq.com/北京显微镜百科