标题：SEM应用于表征电镀层立体显微图象-测量表面形貌仪器
信息分类:站内新闻
作者:yiyi发布
时间:2016-3-21 17:04:37
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正文:
扫描电镜(SEM)一一扫描电镜是
一种飞点扫描类型的仪器，其分辨率介于透射电镜和光学
显微镜两者之问，提供了SEM应用于表征电镀层性
能的说明事例．扫描电镜的对比度受到许多因素的影响，二次
电子的数目强烈地取决于探测区域的斜坡，甚至更强烈地由试
样上所出现的尖锐刃边而定．试样表面上的电场由于邻近电极
的电势而引起在突出部位增强发射．产生二次电子的效率取决
于：电子束撞击表面处特定元素的状况、检晶器外露出的表面
积、有无吸收层及其工作特性等．对比度的变化率取决于放大
器的增益系数．由于这些原因，非常不利的情况是把刃边和亮
的以及暗的区域错误解释为形貌的信息．立体对偶是基本的要
求，即使对显微图形作较好的定性解释也如此．下功夫分析成
对的立体显微图象可以获得定量信息．
形貌图的分辨能力
用于测量表面形貌仪器的实用性，取决于它能同时测量水
平方向和垂直方向两点之间的间隔的能力．形貌图的分辨能力
是由所用仪器的水平和垂直分辨率的乘积决定的．表丑列出了
在典型的工作条件下，上述仪器的水平、垂直和形貌图的大致
分辨能力．包括透明电镜的参数可供参考．注意：所有现用仪
器都有1000平方nm左右的形貌图分辨率．
用什么仪器能最方便和最经济地测量出被测零件的表面形
貌?用什么尺度去衡量它?若要使零件正常地工作，什么表征参
数或函数是主要的测定项目?应该依据算术平均值、峰点计数、
平均波长、最大峰谷高度或支承面积曲线来分类?为获得所期望
的表征特性，需要对仪器的输出信号作什么分析?在不妨碍实现
零件功能的条件下，所选用的表征参数的允许界限是多少?为修
正超差的零件，在制造工艺方面会引起多大变革?
出自http://www.bjsgyq.com/北京显微镜百科