标题：表面形貌图象小晶粒构成的多晶体试样金相显微镜
信息分类:站内新闻
作者:yiyi发布
时间:2015-7-22 23:30:04
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正文:
表面形貌图象小晶粒构成的多晶体试样金相显微镜
电子束器件测试 电子束探针能用来进行半导体元件的某些
特殊电学测试，并且从原理上来说优越于机械探针，因为它可使：阢
械损伤减至最小，而且探针的大小可以做得非常小．它的一个缺
点是电子束能裂解试样上面气氛中的真空泵油，使得在半导体：琵
面沉积了一层薄的碳膜(这样电子束信号的诠释可能是困难的
因此不能获得足够多的数据来全面地表征元件的性能．
可以使用两种不同的操作方式．第一种是被测元件通过常规
的接触与互连方法被偏置，而元件表面任何选定点的二次电子发
射被用来估计该点的相对电压．第二种是在元件上只作一个外连
接线，而将电子束本身作为另一个连接线．然后从固定的接触外连
上测量电流．当检测非常复杂的电路时，第一种方式是特别吸引
人的，因为它能从电压衬度发现失效点
电子衍射
当一电子束穿过任一晶体的周期性晶格时，将会被衍射．如
果将透射电子显微镜的光学布置稍作改变，就能把试样的衍射花
样(而不是表面形貌图象)投影在荧光屏上．如相对于光束的截面
积而言，晶体的尺寸足够大，则将产生衍射斑点并可用晶体结构来
诠释．对于近似完整的晶体，还能看到菊池线(Kikuohi lines)；
有时可用它们来测定晶体取向．由很多尺寸比光束面积小得多
的，并且无规则取向的小晶粒构成的多晶体试样，将产生圆环状的
衍射花样．
出自http://www.bjsgyq.com/北京显微镜百科