标题：金相分析显微镜的物镜并不要求很高的放大倍率
信息分类:站内新闻
作者:yiyi发布
时间:2015-7-22 14:24:26
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正文:
硅片的对准是用伺服电机使放在光路中
的平行棱镜倾斜，以便将十字线的像和狭缝的振幅中心相一致．而
掩模的对准采用的是用同样的伺服系统驱动掩模工作台使之返回
到平衡位置上的方法．为使左右两台显微镜都能检测出二维的图
形，在光路中插入棱镜，形成相互共轭的两个焦面，并装上能分别
检测出x方向和y方向标志线的振动狭缝．在上述的例子中，
x，Y，0方向的对准可以在2秒钟以内完成，其定位精度虽取
决于十字线标志的对比度情况，但在通常的情况下可得到1pm
以内的精度．这样，用振动狭缝法可以作成有效的光电传感器．当
然由于狭缝的振幅决定了标志线的搜索范围，因此尽管灵敏度和
精度很高，但可能检测的范围受到限制，这点是必须注意的．因
此，有必要采用某种方法进行粗定位，以便在振动狭缝的搜索范
围内找出目标．
这种方法的特点是显微镜的物镜并不要求很高的放大倍率，
如果目标对比度较好，通常使用5×的放大倍率便能以0．1 um左
右的重复性实现对准．因而焦深的允许范围也很宽，这在实际应
用上可以说是很大的优点．
出自http://www.bjsgyq.com/北京显微镜百科