标题：工具型多功能显微镜应用于检测加工痕迹
信息分类:站内新闻
作者:yiyi发布
时间:2014-10-31 23:57:08
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正文:
工具型多功能显微镜应用于检测加工痕迹
用干涉显微镜只能检查加工痕迹相互平行的表面，在加工痕
逃方向杂乱的情况下，评判干涉图样比较困难。因此，可用以检
查表面痕迹方向杂乱的显微干涉轮廓仪具有更广泛应用的可能性。
在干涉显微镜的视场中，只能看到被检表面的一小块面积，
显微干涉轮廓仪与此不同，它可以给出沿细长区域内，即狭缝像
区域内的表面轮廓。利用圆住透镜或光谱棱镜，把照明狭缝的第二
次像在目镜视场中放大成矩形。
点是所有在视场中的干涉条纹形状都是相同的，而在干涉显微镜
中各个干涉条纹的弯曲度可能不相同。
出自http://www.bjsgyq.com/北京显微镜百科