标题：光电显微镜高精度测量移动工作台上面的标准尺
信息分类:站内新闻
作者:yiyi发布
时间:2015-6-30 22:09:42
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正文:
使用光波干涉法，直接用光波
波长决定刻线间隔，连续进行刻线。而机械研究所，采用光波
干涉测量研制成标准尺(母尺)，把母尺定为基准，用数字控制
连续修正测量误差，再刻副尺(被刻尺)。用丝杠实现直线移
动，用光波干涉保证刻线间隔的绝对值。
用光波干涉法直接刻线时，必须满足以下两条：(1)对刻
绒间隰要修正由于被刻尺的热膨胀及空气折射率等所引起的
误差；(2)刻线间隔必须是干涉条纹间隔的整数倍。
为了满足(1)，使用和被刻尺相同材料的标准尺。标准尺
两端相对放置两个光学平面，把被刻尺、标准尺和决定刻线间
隔的光波干涉仪全部安放在同一个密闭的容器内，并选用与
空气折射率相同的介质。因为标准尺与相同材料的被刻尺温
度相同，所以能消除因热膨胀引起的刻线误差。
光源和工作台驱动系统放在虚线罩外的点划线
内的测量室内，计数记录装置等放在测量室外。固定的光电
显微镜高精度地描准、移动工作台上面的标准尺的
刻线位置，用位于移动台右侧的带有反光棱镜的迈克尔逊干
涉仪精确地测量，并由计数记录装置计数(测量室之外)。这
样，即可测得标准尺的移动量。为了缩短1米标准尺的测量时
问，采用六个光电显微镜。当刻度中心移到各光电显微镜的
光轴下面时，发出主尺脉冲信号，用内插法确定两个脉冲之间’
的小数，这就是把正弦状干涉条纹的一个周期分成两份，以
V4波长(约0．14肛m)为单位，发出工作台移动的脉冲。把此
干涉条纹的数值由电动打字机打印成电动符号，并将电动符
号输送到外部穿孔机上穿孔。
使l米的尺子与20厘米的工作台同时移动，并记录各刻
度位置。过去校正1米标准尺要花几个月，由于使用了光电
显微镜和自动化测量，在这个装置上，只用50分钟左右的时
间就可以完成。由于测量是在短时间内进行的，因此容易保
持测量环境的稳定，这50分钟主要是与电动打字机的打印速
度有关。
出自http://www.bjsgyq.com/北京显微镜百科