标题：视频显微镜下计数和测定粒子大小-测量光学仪器
信息分类:站内新闻
作者:yiyi发布
时间:2015-6-22 18:22:35
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正文:
粒子测量系统
污染控制的一个基本任务就是计数和测定粒子大小。必须采
取某些测定粒子的方法来确定产品表面及其制造环境的粒状物质
控制是否有效。
当然，检验产品表面有无粒子存在是最直接、最典型的测量
方法。在显微镜下用肉眼观察，不仅可以定量地提供粒子的情况
，而且可以直接辨认出粒子的类型。用这种方法进行识别是消除
粒子源的第一步。
生产高灵敏产品的环境应尽可能没有尘粒。现在已有一种能
瞬时测量液体或气体粒子含量的仪器。用这些仪器可以鉴定各种
类型的液体处理过滤器是否完善，并可用来测定新环境的绝对质
量。本章将讨论制造微电子器件所用的方法、仪器及其优缺点。
检查方法的选择
在选择检查粒子方案时，首先应考虑为什么要进行检查。
需要解决的问题有：在空气或液体工艺环境中，粒子大小的分布
；识别引起特种产品失效模式的粒子；找出粒子计数变化的时间
，从而改进生产工艺。需要获得这些参数的原因是为了要确定采
用哪些方法最好。
对空气或液体环境中的粒子，或是以某种方式收集起来并送
到实验室的粒子都应进行分析。一般的电子粒子计数器都能够完
成状态测量。 如果这种仪器买不到，或者所分析的粒子类型不
是原来需要的，就必须收集成批试样。 一般让粒子在重力作用
下从环境中落下，或使试验液体流过适当的过滤器。
如果要进行瞬时测量，重力法和撞击法都是不合适的。 然
而要测定粒子大小，并对粒子进行识别，这些收集方法也是可以
的。
出自http://www.bjsgyq.com/北京显微镜百科