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正文:
多数情况下这种输入装置是一个光学显微镜,检验大物体可用投
影系统,观察小样品可改用电子显微镜。图像形成后,通过光导
摄像管扫描器产生象素,继而成为电脉冲,然后将电脉冲送到逻
辑电路,再由电路提出有关参数的分析图像。 适当的检出与一
定的灰色电平图像、背景反差均有关。采用阈控制可获得最好的
检出。信息经过分析,就可以原来的形式再次显示在监视器上。
同时,这种数据直接进入计算器、绘图器以及其它的记录/计算
装置。
用这些仪器可测量粒子系列的任一种参数,最通用的参数是
长度的个数、面积和类型,其它参数包括形状、光密度和周长。
自动图像分析器是粒子检验的大型辅助设备,它的计数极其
精确。 目前,粒径和面积的测量可以过去手工所不能完成的速
度重复进行。空中粒子测量
虽然显微镜检验产品或过滤面是测量粒子污染最有效的方法
,但是,如不采用自动化,这些方法就既繁琐,又浪费时间。光
散射粒子计数器的研制成功使瞬时测量成为可能,气体的物质粒
子含量降到0.3微米,液体降到2微米。当然,由这类仪器所取
得的表面洁净度的资料是第二手的。 可以这样假设:如果产品
只是在洁净环境中暴露,那么,从该环境落到产品表面的粒子数
为零。连续监视产品周围环境,对引起产品表面污染的环境洁净
度进行瞬时识别。 光散射粒子计数器可对长时间特定位置作连
续自动监视,所得数据的分析只是一项必要工作。由于光散射粒
子监视器很重要,并且应用广泛,所以将详细地讨论这类设备。
对测量气体中粒径小于0.3微米的两种仪器进行简要评述。
光散射粒子计数器
传感器基础 光散射粒子传感器是把粒子散射的光作为检测
机理。这个概念是以奥·凯斯基等提出的米埃(Mie)理论和实验
为基础、 简言之,在一定范围内单个粒子的散射光与粒径的平
方成正比。市场供应的仪器都是利用强光灯的光束,它是聚焦在
暗室
出自http://www.bjsgyq.com/
北京显微镜百科