标题：超精加工和软金属表面测量粗糙度轮廓仪
信息分类:站内新闻
作者:yiyi发布
时间:2015-3-29 18:29:15
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正文:
用来把触针的位移量变成电流或电压的传感器有两种
基本类型；
微形貌图仪——由于超精加工和软金属表面测量的需
要以及产生轮廓的仪器可以进行分析的优点，致使人们去
探索一种非接触式的轮廓测量仪，
目前作者在研制一种形貌图仪，这装置利用宋一个事
实，即在非常靠近导电表面处安置一个尖锐的触针，在相
对于表面具有一定的电位差情况下，放出场致发射电流，
它对于发射极和表面间和距离非常敏感。
仪器粗调后，通过给压电陶瓷元件施加电压而产生运
动，压电陶瓷的长度与驱动电势成正比地增加，发射尖端
半径为10 -500nm 的场致发射体，通过X 和Y 方向的压电
的驱动装置在试样表面上扫描，一恒定电流流过发射体尖
端，在发射极表面建立起一个固定的电场，由于被测表面
（试样）靠近发射极。
在实际运行中，测得发射极到试样之间的电压并反馈
到伺服系统，把适当的电压供给Z 向压电驱动装置并使发
射极到试样到试样的电压保持恒定，这样就使发射极至试
样的间距保持不变，因此Z 向压电陶瓷的电压便直接和发
射极位置相对应，并且可用以测读出轮廓。
出自http://www.bjsgyq.com/北京显微镜百科