标题：TFT-LCD的玻璃基板尺寸测量显微镜
信息分类:站内新闻
作者:yiyi发布
时间:2013-6-12 20:39:58
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正文:
制造设备的发展越快速，由于产品的成本的考量，致使TFT-LCD的玻璃基板尺寸越来越大
这导致微影图案的均匀性比从前更难控制。对1850 mm × 1500 mm之玻璃基板而言，
微影制程图案均匀性之差可达1um以上。在四道微影曝光制程中，
不佳的微影图案均匀性易使TFT的电极制作产生缺陷。经由多次实验及量测发现，光阻膜厚、曝光功率、显影时间、
软烤热板温度及软烤制程时间虽可改变微影制程图案的宽度，但不会改善整体图案的均匀性。
几经线上不断地实测后发现，若能合理地改善软烤热板的温度分佈，
则可使TFT-LCD整体微影图案的均匀性提升50%。
出自http://www.bjsgyq.com/北京显微镜百科