标题：测量光学影像仪工件表面粗糙度的精度可达1μm
信息分类:站内新闻
作者:yiyi发布
时间:2014-8-26 18:21:39
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正文:
在加工中，如果检测部分使用了光学系统，就应考虑介质
空气的移动，拆射率的变化等杂光的干扰，以及工件、透镜表
面灰尘和油膜的影响等因素。
光点位移测且法与前面所叙述的激光光点测量法相似。
光点测量位置是在光轴方向上测出工件表而反射来的反射象
点的位置。
用光点测量表面粗糙度时，是在垂直于光轴的直线上(在荧光屏上)
测量表面祖糙度形成的反射象点的位置。
为了成复，必须机械地扫描被测表面，因此也可将这种装置看
作是一种扫描型的激光光电显微镜。
由实验得知，本装置测量工件表面粗糙度的精度可达1μm，
它可以测量振动频率达10kHz的工件，也可以实时地
在圆周方向上测量普通车削件的表面祖糙度。用本装置测得
的车削件，在四周方向和进给方向上的祖糙度频率成分，与口
度仪及其它粗糙度测量装置测得的频率成分是一致的。
出自http://www.bjsgyq.com/北京显微镜百科