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正文:
重要的是要考虑到被检表面可能没有旋转对称性,因此必须沿几个
径向进行测量,以获得有关表面的完整信息。可用拍摄条纹照片的
方法代替用显微镜直接测量条纹的位置,然后用普通的方法测量条
纹的位置。
如果基准面是球面,被检面是非球面(双曲面或抛物面),那么
从检验球差的泰曼.格林(Twyman—Green)干涉仪上得到的干涉图
样就是理想的条纹图样。
基准面也可以是另外一个与被检面的理想形状完全匹配的非球
面。这种方法对于制作凸非球面很有用,因为凸非球面的制作和检
验要比凹非球面的制作和检验更复杂。这种方法的优点是零补偿检
验。其缺点是两个表面共轴调整要求非常苛刻,因为两个面都有严
格限定的轴,在检验过程中必须使这两轴重合。但这问题并不难解
决,只要有一些实际操作经验和一些能够精细调节的设备就可以进
行共轴调整。
非球面光学元件的基本特点
表面形状的质量
球面表面具有一个固定的曲率半径,可以采用大接触面积的磨头
加工,这些磨头只要正确操作,即使经过长时间的使用,仍具有很
好的品质,没有明显的质量退化。另外,这些磨头在随机路径上运
动,可以避免元件表面“带状”疵病的产生。因此,即使使用相对
简单的机器,都可以加工出高质量的球面表面。
出自http://www.bjsgyq.com/
北京显微镜百科