标题：工件的表面粗糙度测量与观察用工具型显微镜
信息分类:站内新闻
作者:yiyi发布
时间:2014-8-26 14:22:34
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正文:
利用激光光点在工件表面反射测最粗糙度的方法有两种，
一种是测量由于粗糙表面的倾斜而引起的反射角;另一种
是根据光点在祖糙表面反射时象点的变化来测最表面粗糙度。
前者称反射角度测量法，后者称光点位移测量法。此外
还有用激光光点做光切法测量的，经过处理可以扩大到二坐
标的测量。用二坐标排列的光电元件测量与表面粗糙度相对
应的投射，并将投射象输入工业用电视，再经演算处理，即
可在加工中观察表面粗糙度的二维形状，还可以做硬拷贝。
当入射光照射到被测工件表面上时，其反射光将射向荧
光屏，在荧光屏上就会观察到特殊的斑纹随机图形。如果入
射光的光束直径与表面波形的波长比非常小，则反
射象不是随机图形，而呈点状。此时反射象点的位
置取决于光的入射点处凹’凸表面倾斜角的大小，
因一此，测最反射象象点位置，就可以得出表面反
射倾斜角的大小(倾斜角的积分)，从而便可以得出工件的表面粗糙度。
由实验可知，对于波形完整的·、而且高频振动占主导的表
面，测址的效果较好。如果不充分地缩小光束，反射象一般不
呈点状，而是杂乱的。所以提出了光点位移测量法。
出自http://www.bjsgyq.com/北京显微镜百科