标题：金相显微镜物镜之NA值越大,写入的光点就越小
信息分类:站内新闻
作者:yiyi发布
时间:2013-11-2 20:06:05
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正文:
金相显微镜物镜之NA值越大,写入的光点就越小
1. 当写入直线的速度固定，且显微物镜的 NA 一定时，写入的光强
越强，对两旁所影响的范围有渐渐变大的趋势。
2. 显微物镜之 NA 值越大，写入的光点就越小。所写入之直线，对
两旁所影响的范围就越小，这是我们所乐于见到的，因为如此一
来可以提升灰阶光罩的线宽
绕射光栅之灰阶光罩制作
接下来的实验，将是采用 NA 为 0.25 的显微物镜来研究。
为不同写入功率所对产生的最高穿透率图，选用的是玻片 type1，写
入为速度 250μm/s，显微物镜 NA=0.25。找到不同光强所能对玻片产
生之穿透率。灰阶光罩的制作原理也是控制激光光强，在玻片上写出
我们想要的灰阶光罩
选用波长 532nm 之半导体激光，功率达 150mＷ。
激光束先经过声光调制器(Acoustic Optic Modulator，AOM)，
由 AOM 可用来控制入射光的写入时间及光强，其中电压可
控制光强，而写入时间的则可用电脑来控制。AOM 是用电压来驱动
元件中的声波，进而在 AO 晶体内部形成光栅，而此光栅便可将入射
光作绕射，而由输入的电压的大小及时间，便可控制绕射光的强度。
由此我们可由电脑中的输出电压来控制光强。接下来激光写入的光路
再经过扩束系统，使光束扩大并平行化到约 10mm，最后经显微物镜
聚焦在激光直写玻片上，形成直径约数个微米的圆形光点。此光点大
小直接关联到机台的分辨率
出自http://www.bjsgyq.com/北京显微镜百科