标题：自显影样品的制备及观察-倒置荧光显微镜观察样品
信息分类:站内新闻
作者:yiyi发布
时间:2013-11-2 20:06:27
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正文:
自显影样品的制备及观察-倒置荧光显微镜观察样品实验
显影：
所谓显影，以正光阻而言，就是将曝光时有受光的光阻以显影液
洗去，留下未受光的光阻于基板上。各种光阻所使用之显影液不同，
以本实验而言，AZ1500 所使用的光阻显影液为 AZ300MIF。
1. 显影时间：若时间太短，则受曝光的光阻会有残留；若时间太长，
则未受曝光的光阻也会被洗掉。
2. 欲显影样本之线宽：一般而言，线宽越宽，显影时间越长。
3. 显影时是否摇晃：摇晃会加快显影速度，但将使得显影时间不易
控制，且容易使所有的光阻都被洗去；但若不摇晃，光阻易停留
在样本表面，不易散去。因此建议轻微晃动样本，以减少实验上的误差
.曝光：
曝光所使用之波长与曝光时间取决于所使用之光阻。
用之光阻皆是以 I-line 紫外光来曝光。
光组为 AZ1500 其曝光时间为4 秒
出自http://www.bjsgyq.com/北京显微镜百科