标题：检查工件的尺寸、平面度、平行度-光学测量仪器
信息分类:站内新闻
作者:yiyi发布
时间:2016-6-16 12:19:39
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正文:
检查工件的尺寸、平面度、平行度-光学测量仪器
光波测量
·使用光学平晶检查工件的尺寸、平面度、平行度。
·描述激光干涉仪的操作。
·掌握关于激光测量的应用。
两种最为精确的测量方法是分别使用光学平晶和激光测量。尽管
基于不同原理，但它们都是使用单色光光源来保证测量的精确性。光
学平晶的测量
最为精确和可靠的测量方法之一就是使用光波测量。光学平晶使
用单色光来检测工件的平面度、平行度及尺寸。光学平晶就是一块洁
净的石英圆盘，被研磨到不平度小于百万分之一英寸。通常使用氦光
光源，氦光可以提供光波长度为23．1323μm(O．587 56μm)的黄绿
光。
光学平晶，是一块非常平的透明圆盘，通常放在工件的表面进行
检测。光学平晶的功能表面是靠近工件的表面。它是透明的，可以反
射光，因此所有光波照到它的表面上，然后被分成两部分，一部分光
波被平晶的下表面反射，另一部分穿过平晶表面由工件的上表面反射
。无论这两部分反射光什么时候相互穿过或者干涉，它们都是可见的
并产生暗的干涉带或干涉条纹，这种情况只发生在当工件的上表面和
平镜的下表面的距离只有半波长的时候。
出自http://www.bjsgyq.com/北京显微镜百科