光电微机电元件轮廓尺寸量测工具显微镜厂商-北京上光仪器有限公司

标题：光电微机电元件轮廓尺寸量测工具显微镜厂商

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光电微机电元件轮廓尺寸量测工具显微镜厂商

如何量测及控制薄厚膜材料之性质，对于开发光电、半导体及微机电元

件系统，以及其相关制程是非常重要的。虽然一般块材的性质或行为大

都可以经由一些标准材料手册查询而得，然而薄厚膜材料就不见得那样

方便。

一般而言，薄厚膜材料性质除了与制程条件不同而有所不同外，与温度的

改变也有密切的关系，更何况许多材料会在不同温度状况下使用，温度对

这些材料的影响如何，是必须有所了解的。

此外，无论何种薄膜制造技术。

出自http://www.bjsgyq.com/北京显微镜百科

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