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作者:yiyi发布
时间:2013-2-9 19:15:25
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聚焦点的直径大于其绕射极限,所以这是我们以后要再改进的地方,而激光准直光源通过微透镜阵列之后呈现高斯分佈,
其中光能量落在光敏区的范围之内为有效,分佈在光敏区以外的光能量则是损耗,经过光学测量系统量测得到光强度分佈,微透镜阵列光强度分佈图为打在以半圆形光罩所交叉拖拉加工之微透镜,为透镜孔径为 50μm、曲率半径为 25μm 之微透镜阵列所形成的聚焦点图,为其所形成的聚焦点能量分佈等高线图。同理经计算,聚焦点的直径小于 10μm,而其绕射极限为:Wmain ≅ 2(λ×R)/H = (2×0.6328µm×25µm)/50µm = 0.633µm
同样,聚焦点的直径大于其绕射极限蛮多的,也比圆弧形光罩所加工之微透镜大的多,原因所在应该在是其加工并非为圆对称之加工。所以以圆弧形之光罩所加工之微透镜会比半圆形光罩加工要较接近球状面些,所以这是我们以后要再改进的地方。
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