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标题：显微镜知识之激光加工上量测上的误差的原因简介

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显微镜知识之激光加工上量测上的误差的原因简介

误差以及量测上的误差加以深入探讨，

以期得到更完美的微光学元件，及更完美的量测数据。

制程上的误差

产生制程上的误差有多种的原因，而最主要的原因为在制程时，

未能掌握制程参数的最佳状态，如准分子激光的输出能量、准分子

激光的输出频率以及工作平台的移动速度，对这些参数的控制极为

重要，以及其实准分子激光的热效应还是存在的，因为边缘的深宽

比要比中间稜镜部份的深宽比大，所以需注意准分子激光能量的控

制，能量太大此现象会更明显。

出自http://www.bjsgyq.com/北京显微镜百科

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