标题：制造小尺寸元件微结构技术样品实验显微镜
信息分类:站内新闻
作者:yiyi发布
时间:2017-6-17 0:04:34
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正文:
制造小尺寸元件微结构技术样品实验显微镜
微结构技术和微结构的基本工艺过程，这些微结构是构建在一
个基体上尺寸非常小的独立的机械结构、液压结构、光学结构或部
件。事实上，微结构技术不仅对微系统是必需的，如果人们了解微
电子学的历史，就会知道由于技术上和经济上的突破发明了晶体管
，而晶体管的发明对于技术的进一步发展是一个非常重要的进程，
最终导致了微处理器的产生。微处理器上集成了许多独立元件，采
用经济、高密度封装技术封装在一个基体上，只有把这些独立元件
集成在一起，各独立元件和子系统之间采用复杂的连接技术才能形
成一个完整的系统，微处理器能够完成各种智能信号处理任务。上
面是对微系统定义的说明，下面给出(微)系统的概念：微系统是一
个由许多独立元件组成的装置。
微系统技术同样要求经济地制造小尺寸元件，并将元件智能地
集成到系统中去。在过去，微系统技术强调的是微结构技术和微元
件的研制；市场方面对微系统的研究和研制强调的是系统的互换性
。微元件制造的工艺标准已经制定，遗憾的是，还没有系统研制方
面的“准”标准。不过，微系统有比较大的应用潜力，人们期望将
微系统应用到那些利用常规方法无法完成的领域。一般来讲，在微
电子电路技术基础上再加上集成传感器和微执行元件技术，微系统
的性能会大大加强，这样可以大大扩大微系统技术的性能范围，从
而使微系统技术有大的应用潜力。
执行元件和传感器同样很重要。他们都可以使用微结构技术来
生产，因为它们主要采用微电子学的方法来生产，而且尺寸、功能
和生产成本也与微电子元件一致。如同大量元件的智能连接扩展了
出自http://www.bjsgyq.com/北京显微镜百科