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正文:

这是因激光加工于尖端的部分，会有较大的误差，所以尽量减少尖端的角度，

（一）加工深度误差

其产生之原因主要就是如上所述，我们以固定准分子激光的输出能量及频率，控制工作平台的移动速度，既工作平台的移动速度控制不恰当所导致，当注意加工深度及工作平台移动速度的关系，并加以修正既可改正此误差。

（二）曲面形状误差

微透镜阵列之曲面是由光罩的图样所控制，所以此误差之产生主要原因应为光罩图样的误差，（5-5），光罩上之曲线为一段一段小直线所连接而成，并非真正的曲线，所以会造成准分子激光加工时，不能加工出完全平滑的曲线，而其改进方法唯有设计光罩时的注意，但碍于电脑解析度的问题，所以多多少少都会产生此问题，而国家毫微米实验室（NDL）以及交大半导体中心所能接受光罩的图档有限，也是造成此误差产生的原因。