标题:表面粗糙度的光学式非接触测量光学分析显微镜

信息分类:站内新闻   作者:yiyi发布   时间:2017-4-17 1:58:10 将本页加入收藏

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正文:

表面粗糙度的光学式非接触测量光学分析显微镜

    在表面粗糙度的光学式非接触测量中,光反射和散射等光学现
象的利用也非常有效。
     在此测量中,两组反射光光强的输出比随表面倾斜角分布偏
差的增大而增大,并与被测材料有关。与光反射式非接触测量相类
似,光散射式非接触测量是利用测量表面的散射光的角度分布进行
表面粗糙度的测量。而激光光谱式非接触测量则是利用测量表面的
反射光的光谱分析进行表面粗糙度的测量。
     在非接触测量中,除了利用光学现象外,利用微被也能达到
同样的效果。与光学式非接触原理一样,微波式非接触测量是利用
微波辐射到测量表面,并通过检测反射微波的强度来计算表面粗糙
度的。为微波式非接触测量系统,通过改变频率来对反射波进行检
测,可用于车削、铣削和磨削表面粗糙度的测量,当粗糙度变高时
,传感器的输出减小。
    除了上述的接触式和非接触式直接测量外,表面粗糙度还可通
过切削力等过程变量的检测进行间接推测。表面粗糙度与表面凸凹
的高度和斜度有关,其中斜度变化对粗糙度的影响更大。










出自http://www.bjsgyq.com/北京显微镜百科
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