标题：光学测量在测量与被测表面不接触,测量速度快
信息分类:站内新闻
作者:yiyi发布
时间:2016-12-7 1:41:20
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正文:
光学测量在测量与被测表面不接触,测量速度快
聚焦探测法又称为光学探针法，它类似于机械触针法，将聚焦
光束代替金刚石触针，然后利用不同的光学原理，来检测被测表面
的形貌相对于聚焦光学系统的微小距离变化。利用聚焦探测原理进
行表面形貌测量的方法有多种，根据聚焦误差信号检测方式的不同
，主要有傅科刀口法、差分法、光强法、临界角法、像散法及偏心
光束法等。
光学测量法在测量时与被测表面不接触，测量速度快，而且在
一定程度上克服了触针法的缺点——避免损伤样品表面。但各类光
学法除各自自身的技术问题之外，存在着一个共性的缺点：横向空
间分辨率由于受阿贝衍射极限的限制而只能达到亚微米级水平，对
于空间波长接近纳米级的超光滑表面而言这一分辨率是远远不够的
出自http://www.bjsgyq.com/北京显微镜百科