标题：高分辨率的图像-电子显微镜相应焦距较短
信息分类:站内新闻
作者:yiyi发布
时间:2016-10-27 0:33:51
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正文:
高分辨率的图像-电子显微镜相应焦距较短
球差扩散弥散圆直径正比于孔径半张角的三次方，同时样品电
流与孔径半张角的平方成正比。要想得到进行能谱或者电子背散射
衍射分析所需要的大电流，必然会导致透镜球差显著增加。因此，
这两者之间是相互矛盾的。一般来说要想获得高分辨率的图像．就
应尽量减少球差．采用小孔光阑挡住外围电子束．这会大大降低样
品电流．从而无法得到进行能谱或者电子背散射衍射分析所需的束
流。
球差系数与透镜的焦距成正比关系．一般来说．透镜焦距越长
．其球差系数也就越大。而工作距离指的是透镜极靴下表面与试样
表面之间的距离，随着工作距离的增加其透镜聚焦焦距也相应增加
，透镜球差系数也相应增加。因此，一般要获得高分辨率的图像应
采用较小的工作距离．以保证球差扩散弥散圆足够小。
色差
色差是由于电子枪产生的电子经过加速后形成的高能电子束能
量存在一定的能量扩展范围．能量大的电子焦距较长．反之．能量
小的电子相应焦距较短。也就是说透镜对能量大的电子的偏转量小
的电子相应焦距较短。也就是说透镜对能量大的电子的偏转作用小
于能量较小的电子。因此，一束高能电子经过透镜后不会聚焦成为
一个点
色差导致的弥散斑直径与入射电子能量成反比，即加速电压越
低，入射电子能量就越小．相应地色差就越大。
出自http://www.bjsgyq.com/北京显微镜百科