标题：显微镜透镜的球差、色差等像差导致分辨率降低
信息分类:站内新闻
作者:yiyi发布
时间:2016-10-27 0:33:40
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正文:
显微镜透镜的球差、色差等像差导致分辨率降低
扫描电镜50万倍的二次电子像和160万倍的STEM像均能得到清
晰的材料显微结构细节。表现出优异的分辨率。但是与理论值相比
，扫描电镜的实际分辨率还是相差10～100倍。这个巨大的差异主
要是由以下三个因素导致的：
(1)透镜的球差、色差等像差导致分辨率降低；
(2)入射电子束同样品相互作用降低了分辨率；
(3)信噪比也影响了扫描电镜的分辨率。
球差
球差是由于透镜边缘部分对入射电子的折射比旁轴部分更强而
导致的。旁轴电子束通过透镜后在高斯像平面与光轴的焦点上聚焦
；由于折射角度的不同．非旁轴的电子束则聚焦在高斯像平面的左
侧。因此，对于一个点源在通过透镜后不能在高斯像平面上形成清
晰的聚焦点，而是在光轴靠近高斯像平面附近一定距离内成像。在
这段距离内可以找到一个位置使点源在该平面成像较清晰且具有最
小直径的圆斑(球差扩散弥散圆)。
出自http://www.bjsgyq.com/北京显微镜百科