标题：微器件与外部界面尺寸结构对准精度-计量自准直仪
信息分类:站内新闻
作者:yiyi发布
时间:2016-9-28 12:28:52
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正文:
微器件与外部界面尺寸结构对准精度-计量自准直仪
横向尺度
微加工系统具有大约1μm的尺寸：一些器件具有5 μm或10μm结构
时即可工作得很好了；而另一些器件需要100 nm结构尺寸时才能具有较
好的性能。几乎所有的器件均包含有100 μm尺寸的结构，因为这是微
器件与外部世界的界面尺寸：很多器件需要电连接(在引线键合或凸点
焊接工艺中)；流体器件必须与毛细管或储液池连接；太阳能电池和功
率半导体必须有较厚和较大的金属面积将高电流带出；与光纤的连接需
要与光纤差不多的尺寸结构。这些结构的尺寸均大约为100 μm。
窄细的线条可以用不同的方法制造，这主要取决于分辨率，也就是
分辨相邻两个结构的能力，它定义了器件的分布密度。在讨论微观尺寸
时，分辨率很重要，但是在不同光刻工序中，结构间的对准也同样重要
。根据一般经验，对准精度是最小线宽的三分之一，与较差的分辨率和
较好的对准相比，较高的分辨率但较差的对准，只能获得较低的器件分
布密度。
出自http://www.bjsgyq.com/北京显微镜百科