标题：角测量精度可在反射镜间距离微小变化-角测量误差
信息分类:站内新闻
作者:yiyi发布
时间:2016-9-17 13:48:11
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正文:
角测量精度可在反射镜间距离微小变化-角测量误差
角测量误差
角测量精度可能在反射镜间距离微小变化时受到影响。为了将
两个线性测量转换成一个角的测量，需要精确知道反射镜之间的距
离。这种距离变化可能会由于角反射镜壳温度变化而发生变化。为
了减少这种误差，过多的角反射器操作和不同温度介质的接触应当
避免或者减到最小。
直线度测量误差
直线度测量精度在很大程度上取决于两个直线反射平面镜是否具
有理想的表面特性。如果平面镜或凸或凹，这些特征会产生一个直
线度误差，即使移动部件是沿着笔直的直线移动的。减少这种误差
的一个方法是旋转直线度反射镜180°获得第二组测量。至少有两
个测量结果集合可以采集，来计算实际的平均偏差。虽然这个过程
可能会非常耗时，这是弥补直线度光学仪平面差距的一个有效方法
。
直线相关的误差也可能发生在直线度反射参考平分线不是用激
光干涉仪对齐的，导致失调(斜率)被错误地理解为直线度误差
出自http://www.bjsgyq.com/北京显微镜百科