标题：非接触式光学显微镜孔径测量装置的测量应用
信息分类:站内新闻
作者:yiyi发布
时间:2016-7-9 12:56:09
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正文:
两棱面上形成的干涉条纹宽度等距的情况，当两棱面形成的干涉条
纹不等距时，必须对每个棱面分别定度，并分别计算每个棱面上零
级条纹的移动。较好的方法是移动工作台，使测量标准具时，一个
棱面的零级条纹的位置与测孔时同一棱面的零级条纹的顶点的位置
重合。这样，只要计算另一棱面上零级条纹位置的移动，就可求得
孔径对标准具尺寸之差。
本装置的定度方法与接触式干涉仪相同。不过，由于棱镜面积
小，只能取3～4条干涉条纹来计算格值。
非接触式干涉孔径测量装置的测量误差包括：①干涉读数系统
的误差；②标准具误差；③工件安装调整不准确带来的误差；④环
境温度变化带来的误差。
在①、②两项误差中，又包含着若干影响因素，在较严格控制
各项因素及温差不超过0．2℃的条件下，对于直径小于直径20mm的
孔，此方法的极限测量误差可小于±0．2μm。
上述干涉测孔的优点是可以得到很高的读数准确度。其缺点是
操作复杂，工作条件较苛刻。； 最后还应指出，许多以直接比较
方式测量轴、孔的量具仪器，加用量块或标准件后，也可以作徼差
比较测量，以提高测量准确度。
出自http://www.bjsgyq.com/北京显微镜百科