点击查看产品参数和报价--丨--
---
---
---
正文:
光学车间检测
扫描隧道显微镜
在扫描隧道显微镜(STM)中,
金属的针尖向待测导体或半导体表
面靠近,直到能够在针尖和待测表面之间检测到隧道电流。为了“
感知”隧道电流,必须在针尖和待测表面施加电压。为了达到原子
量级的分辨力,针尖仅有一个原子和测试表面产生相互作用。只有
当针尖到表面的距离小于1nm时,才能成功感知到隧道电流。探针
离表面的距离越近,隧道电流就会呈现指数规律增长℃.1 nm的距
离变化,就会使隧道电流变化达到10个数量级,这也使STM具有了
原子量级的测量灵敏度。利用压电陶瓷(PZT)可以将探针控制在待
测表面上方几十埃(A)的空间范围内,并呈光栅模式扫描。STM只能
检测导体的表面,这限制了它的应用,其图像的分辨力很大程度上
依赖于针尖的几何形状
就像光学显微镜在不同分辨力和不同视场情况下测量需要不同
的放大倍数一样,STM在使用时,为了改变横向、纵向分辨力和扫
描范围,需要对扫描头使用的探针大小和扫描范围进行选择,较大
的STM扫描范围与高倍光学
轮廓仪及高分辨力的探针
轮廓仪的测量
范围相互有交叉。由于STM需要能导电的待澳4表面来产生隧道电流
,像玻璃这种物质就不能被测量。
出自http://www.bjsgyq.com/
北京显微镜百科