标题：共焦显微镜用来测量透明膜层厚度-表面轮廓检测
信息分类:站内新闻
作者:yiyi发布
时间:2016-7-3 21:15:41
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正文:
用于表面轮廓检测的共聚焦系统的工作方式相当于一个在待测
表面上进行扫描的焦点探测系统。在一些情况下，比如使用信号的
重心或者用多项式拟合取代简单的最大辐射位置来确定信号的位置
，信号轴向点扩散函数的位置通常可以确定下来。轴向点扩散函数
的宽度和样品等级也会对确定信号位置的一致性产生影响，进而影
响到垂直分辨力。轴向信号越窄，垂直分辨力就越好，这是因为最
佳垂直分辨力依赖于物镜的NA及放大率。表面轮廓的垂直分辨力通
常定义为差值测量的RMS值。垂直分辨力还决定了被测样品上能够
测量到的最小高度。
对于光滑表面而言，垂直分辨力在几个纳米量级，但只针对高
倍率物镜。对于低放大倍率的物镜，垂直分辨力大概在10～15nm至
微米量级。这种垂直分辨力通常也称为方法灵敏度。
共焦显微镜通常用来测量透明膜层的厚度，其处理方法称为光
学限幅。光线透过物体，在膜层界面发生反射，从而产生额外的轴
向响应。共焦显微系统的光学限幅技术常常用来对诸如生物细胞、
半导体工业中的透明涂层进行测量。在这些情况下，垂直分辨力也
有了不同的定义，其定义要适用于可测量的光学厚度
轴向垂直分辨力的定义基于信号的垂直两点的分辨力，而轴向信
号的宽度又决定了这个分辨力，这种情况下，轴向垂直分辨力也就
是最小可测量的光学厚度。对于大NA的物镜，光学限幅的垂直分辨
力可达到1．5微米，这比与测量台阶高度相关的垂直分辨力要大得
多。
出自http://www.bjsgyq.com/北京显微镜百科