标题：光栅本身的参数决定着莫尔法的测量灵敏度-光学仪器
信息分类:站内新闻
作者:yiyi发布
时间:2016-7-2 15:18:46
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正文:
光栅本身的参数决定着莫尔法的测量灵敏度-光学仪器
我们知道，光栅本身的参数决定着莫尔法的测量灵敏度，节距越小
，灵敏度越高。为了满足不同测量场合对灵敏度的不同要求，或同
一场合下对可变灵敏度的要求，就应该能简便地、快速地获得一个
不同节距的光栅。
Chiany和Jaisingh以及Asundi分别在反射莫尔及阴影莫尔领域
各自发展了可改变节距的方法，但这些方法在测量过程中仍需变更
光栅元件，且灵敏度变化范围有限。由于用物理光栅解调变形光栅
的方法具有致命的弱点，人们开始尝试通过电子或计算机模拟产生
的模拟光栅来解调变形光栅，这实质上是对变形光栅进行直接分析
的方法。1977年，Idesawa等人发展了一种称之为扫描莫尔的方法
，它是利用扫描成像设备对变形光栅采样并通过计算机处理，借助
于控制扫描相位、节距以及扫描线形成虚光栅的方向生成高对比度
的莫尔条纹。这种方法可实现条纹自动内插，且能通过软件补偿系
统误差，但扫描设备的暂态非稳定性(电噪声)引起的莫尔条纹的高
次谐波项无法补偿，不能自动指定条纹绝对级，用于实际测量处理
速度慢。
1 989年，Blat利用声光调制器(Acousto—Optic Cells)产生
了模拟光栅，栅距可通过改变声光调制器的频率来实现，从而达到
了在模式识别或机器人视觉中，为了减少运算量而匹配合适分辨率
的目的，但这种系统所用到的机电装置比较复杂。1993年，Asundi
又将计算机产生的光栅用于莫尔法中，利用软件能快速、灵活地改
变计算机光栅的间距及逻辑莫尔的灵敏度，快速实现相移，通过两
步相移可自动确定逻辑莫尔的条纹级；如果配合使用液晶显示投影
器，其应用更为广泛。计算机光栅为莫尔法开辟了新的天地。
许多年来，人们一直致力于莫尔法的研究，在提高精度、改善
灵敏度、实现自动化等方面做了不少工作，积累了不少可为其他三
维面形测量系统借鉴的经验，许多方法用于特定测量对象都取得了
比较令人满意的结果，但都又不同程度地存在这样或那样的问题。
也就是说，无论哪一种改进都不能从根本上克服莫尔轮廓术中所遇
到的所有困难，莫尔法还有待于进一步完善和发展。
出自http://www.bjsgyq.com/北京显微镜百科