标题：不同的加工技术有其各自的特点、加工性能和适用范围
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作者:yiyi发布
时间:2016-6-11 20:43:57
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正文:
不同的加工技术有其各自的特点、加工性能和适用范围
传统精密机械加工技术面向三维形状，对加工对象的材料
适应性强，能够解决微小型系统承载结构件和系统微小型化的问题
。目前精密机械、电子、光学等领域有大量的精密微小型零件都是
采用传统精密机械加工工艺和精密机床制作的。
微小型制造技术与MEMS(Micro Electro Mechanical Syst
em)技术的主要差异是在所使用的材料和制造工艺方法上。微小型
制造技术集中于金属的机械制造工艺，利用工具成型几何表面，能
适应多种材料，而MEMS技术集中于由半导体制造工艺发展而来的工
艺方法和相关材料。微小型制造技术适于单个加工，而MEMS技术适
于批量制作。微小型制造技术面向于三维可动微小零件、机构和装
置，而MEMS技术趋向于平面微机械零件和MEMS器件。
不同的加工技术有其各自的特点、加工性能和适用范围。
现阶段普遍认为，有潜力的、适合于微小型制造的加工技术有激光
微纳加工、超声波微细加工、磨料流动微细加工、微细电火花加工
(Electrical Discharge Machining，EDM)、微细电化学加工(Elee
trical Chemical Machining，ECM)、微细铣削、微细钻削、微细
磨削、聚焦离子束(Focused Ion Beam，FIB)加工、微细立体光刻(
Stereolithography，SL)、微冲压、微挤压、流体喷射微细加工和
微粒冲压等。
出自http://www.bjsgyq.com/北京显微镜百科