标题：真空涂层过程产品的质量技术分析图像显微镜
信息分类:站内新闻
作者:yiyi发布
时间:2016-5-26 21:37:41
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正文:
真空涂层过程产品的质量技术分析图像显微镜
真空涂层过程参数监测需求
在多参数过程中，传感系统主要分为两类。第一类集中在试车阶段，包括涂
层装置的测试和校准。在这方面，控制系统用于研究和开发，也用于涂层装置制
造商和科研协会的维修部门。由于这些原因，所用的这类装置是可拆装的、复杂
的、昂贵的，然而，它体现了在涂层过程传感系统上的技术发展水平。第二类包
括固定的传感系统，它和涂层装置一起稳定地工作，是涂层制造者，例如，此装
置的最终用户，是监测涂层过程所必需的。第一批传感系统确保涂层装置有很好
的构造并标准化，而第二群组是确保最终产品的质量，例如，涂层部分。在这一
在原位的涂层过程监测，遵循和其他的自动系统相同的基本原理。关系到被
监测的参数的重要性和调整的可能性，为了优化涂层过程，可设计成开路或闭路
控制系统。因此，有些参数必须持续检查而不是调整，然而其他参数与反馈系统
结合，可通过它们调整淀积过程。适应性控制的原理在过程参数后一组中的应用
范围很广。在每一种情况下，考虑到有限的薄膜厚度和其精密的特征，涂层过程
对任何淀积参数的修改都非常灵敏，甚至是瞬间的。因此每一个涉及到的传感系
统必须有较高的分辨率、精确度、重复性和可靠性。这些需要将传感器、电子装
置和所测量值的读值工具联系在一起，组成了传感器系统。
此类装置的制造商一定要考虑的一个更进一步重要的参数是确保传感器也
被涂层，但不会降低其灵敏度。为了这个目的，当必要时，过程传感器通过特
殊的过滤器或离子阱保护起来，传感器被看作为过程备件。另一方面，有的传
感器，例如，用于淀积速率监测的石英晶体，当涂层逐渐增多时，可改变其指
示。因此，在每一个涂层过程终止时，为了监测接下来的淀积过程，必须使其
回原处。
出自http://www.bjsgyq.com/北京显微镜百科