标题：测量范围和测量精度是选择CCD的依据-工业显微镜CCD
信息分类:站内新闻
作者:yiyi发布
时间:2016-5-12 13:13:28
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正文:
CCD器件的选择与相关设计
测量范围和测量精度是选择CCD的主要依据。
不同微机械器件高度尺寸范围的差别很大(约1～300 微米)，
所对应的测量精度也不同。被测件的尺寸较大时，CCD可以直接
放在聚光物镜的成像焦面上。尺寸很小时，
为满足高的测量精度要求，聚焦物镜首次成像后还需后续一个二
次像放大环节。此时CCD应放置在二次放大的成像面上。
选择CCD的分辨率主要依据测量精度，而测量精度又与显微
镜总的放大倍率有关。
图像测量系统的构成
1．扫描模块及机械扫描结构
线阵CCD的分辨率较面阵高，更多用于测量。线阵CCD本身
具有一维自扫描特性，但用它获取二维图像，需要辅助的扫描处
理。即y向通过线阵CCD自身电扫描完成，X向须由机械扫描保
证。
扫描机构可设计如下：计算机控制步进电机带动精密丝杠转
动，与丝杠外螺母相连的滚珠导轨滑块带动CCD作X向直线运
动。CCD初始位置通过微调结构可进行精密调整，以保证扫描面
与成像面重合。采用弹性双螺母结构消除丝杠与导轨的轴向间隙
以提高传动精度。丝杠的螺距误差、同轴度误差及导轨直线度跳动
误差通过精密加工保证。
出自http://www.bjsgyq.com/北京显微镜百科