标题：电镀电极的机械压电式传感器技术的简介
信息分类:站内新闻
作者:yiyi发布
时间:2016-5-12 13:13:38
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正文:
电镀电极的机械压电式传感器技术的简介
压电式传感器
利用材料的压电性质可以检测弹性波或电镀电极的机械谐
振，同时还可以直接检测光学镜面的变形等。
至少有三种类型的传感器可用于探测基片内部传播的波：
①体波谐振器(大部分由双面镀金的石英蝶或盘构成)；②表面
波(SAW)传感器；③薄盘式传感器(SH波和Lamb波)。这些传
感器可用于不同场合，但应用最多的还是石英微摆。其作用原理是
通过沉积极少量的材料来改变谐振频率，分辨率能达到10-11 N
量级。
表面波装置由能进行压电传播的单一或者附有多种材料薄膜
的硅片组成，压电体是其中之一，它易于形成弹性波和进行电检
测。表面波传感器可以用来测量物理量，如温度、压力等，也可以用
来测量气体成分等化学量。因此，人们将某些吸收性化学材料涂在
传播表面上来制作传感器。
借助阻断转换器，还可以靠压电效应形成和检测Lamb波等
表面波。基片的厚度可以区分出雷利波的形式。当厚度达到声波
波长数量级，SH波或Lamb便可以传播。
电容式传感器
电容检测传感器是通过两电极间的电容变化来达到检测目
的。两电极中，一个是作为参考的固定电极，另一个是具有可变形
结构的联动电极。表面的改变或电极间隔变化都可以引起电容变
化。在硅和镍上经微细加工而制成的加速度计通常就是由两对这
类电极结构构成的。电极间隔的变化可以用差分电路测量
出自http://www.bjsgyq.com/北京显微镜百科