标题：测量覆层厚度试样制备金相分析图像显微镜
信息分类:站内新闻
作者:yiyi发布
时间:2016-5-7 20:36:02
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正文:
利用双光束干涉显微镜测量不透明覆层厚度
测量不透明覆层厚度时必须采用破坏的方法，为此在测量之
前要进行试样的制备。
试样制备是将待测件被测处的覆层去掉一部分，露出基体和
形成台阶．对于某些覆层可选用适当的退膜液退掉一部分，而不
退掉的覆层可用一圈胶带粘贴上而加以保护。
为了得到多光束干涉条纹，一般应满足下列条件：
(1)干涉面应喷涂一层高反射系数的薄膜，而且膜的吸收
系数很小；
(2)薄膜喷涂层如银或铝的厚度应十分均匀；
(3)采用单色光源；
(4)两反射面间的距离越小越好，最好只是单色光源波长
的几倍；
(5)入射光波应为一平行光束；
(6)入射光束应尽可能垂直于试样表面．
线性偏振光以一定角度照射有覆层的零件表面，在光通过覆
层表面以及覆层与基体界面会产生反射，并将产生椭圆偏振光。
根据偏振光的种类和偏振程度，通过计算可确定覆层厚度。
偏振光法测量覆层厚度通常是在由起偏器、补偿器、检偏器
等偏振元件制成的偏振光显微镜上进行。偏振光显微镜是利用尼
科尔棱镜来产生偏振光，称之为起偏振片或起偏器。在起偏器的
后面插入一个同样的起偏振片，它用来检定起偏器所形成的偏振
光，称之为检偏器或分析器。
出自http://www.bjsgyq.com/北京显微镜百科