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正文:
利用双光束干涉显微镜测量不透明覆层厚度
测量不透明覆层厚度时必须采用破坏的方法,为此在测量之
前要进行试样的制备。
试样制备是将待测件被测处的覆层去掉一部分,露出基体和
形成台阶.对于某些覆层可选用适当的退膜液退掉一部分,而不
退掉的覆层可用一圈胶带粘贴上而加以保护。
为了得到多光束干涉条纹,一般应满足下列条件:
(1)干涉面应喷涂一层高反射系数的薄膜,而且膜的吸收
系数很小;
(2)薄膜喷涂层如银或铝的厚度应十分均匀;
(3)采用单色光源;
(4)两反射面间的距离越小越好,最好只是单色光源波长
的几倍;
(5)入射光波应为一平行光束;
(6)入射光束应尽可能垂直于试样表面.
线性偏振光以一定角度照射有覆层的零件表面,在光通过覆
层表面以及覆层与基体界面会产生反射,并将产生椭圆偏振光。
根据偏振光的种类和偏振程度,通过计算可确定覆层厚度。
偏振光法测量覆层厚度通常是在由起偏器、补偿器、检偏器
等偏振元件制成的偏振光显微镜上进行。偏振光显微镜是利用尼
科尔棱镜来产生偏振光,称之为起偏振片或起偏器。在起偏器的
后面插入一个同样的起偏振片,它用来检定起偏器所形成的偏振
光,称之为检偏器或分析器。
出自http://www.bjsgyq.com/
北京显微镜百科