标题：断面的表观厚度会随对比度和亮度样品分析显微镜
信息分类:站内新闻
作者:yiyi发布
时间:2016-5-7 20:36:16
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正文:
断面的表观厚度会随对比度和亮度样品分析显微镜
将光束射至覆层，由覆层和基体表面反射的光又射至接收反光
镜，从接收反光镜反射出来的光，通过透射窗经偏振器、透镜、
光谱装置最后由记录仪器进行显示。通过记录仪器的电信号的控
制，可以在达到规定的覆层厚度时自动关断沉积的进行．
扫描电子显微镜覆层厚度测量
扫描电子显微镜简称扫描电镜。扫描电镜是用电子束来代替
光源，可以得到波长极短的“照射光源”，利用电子束制成的扫
描电子显微镜具有极高的放大倍数和极高的分辨率，因而越来越
得到广泛的应用。
射向被测试件表面。
为了避免电子束在镜简里与空气分子发生碰撞而引起电子散
射，整个电子光学系统必须保持足够的真空，通常专配置排气泵
(扩徽泵和机械泵)来保证。
从电子枪射出来的电子束经过电磁会聚透镜，将电子柬断面
缩小，在电磁透镜中还装有X y偏转线圈进行二维扫描，经电磁
透镜会聚的电子不断在试样被测区进行扫描测试，由试样发射的
二次电子经闪烁探测器接收；在经过放大之后再加到显像管，由
于显像管偏转线圈和扫描电子显微镜镜筒偏转线圈的扫描电流严
格同步，所以探测器逐点探测二次电子信号将一对应地调制显
像管相应点的亮度，产生覆层和基体的断面图像。
在显示覆层断面图像时，断面的表观厚度会随对比度和亮度
的设定而变，当放大倍数不变，这种厚度变化也可能还比较大．
为了减小测量的不确定度，通常对对比度和亮度的设定应让图像
显示出每一边界表面的细节部分。
在测量中，放大倍数会随时间发生变化，因而仪器的校正要
在测量前后的短暂时间内进行。在保证校正条件的放大倍数不变
的情况下，可采取多点取平均值的方法，以便得出较准确的实际
覆层厚度．
出自http://www.bjsgyq.com/北京显微镜百科