标题：用600倍金相显微镜亮场及暗场观察金属失效分析
信息分类:站内新闻
作者:yiyi发布
时间:2015-9-28 17:16:06
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正文:
失效分析方法
一般的分析程序
失效分析过程中，每一步基本都是一次性质，不能重复再来。
所以应十分小心，防止将真正的失效原因弄掉或带进新的失效因素
失效现象 250℃，500小时加速寿命试验后，10支失效器件
失效分析
1)常温下测试，分别记录。
2)封装检漏，全部没发现粗漏。
3)打开管壳。
色变暗。用600倍金相显微镜亮场及暗场观察没发现异常。
5)划断铝互连用探针测试管芯，发现较大的沟道电流。
6)将管芯用有机溶剂及去离子水清洗并真空烘干。测管芯，沟道
电流仍然存在。证明漏电不是因外表面沾污或凝聚气体造成的。
7)去掉铝膜(用稀硫酸煮)用去离子水冲净，烘干。测管芯，沟道
电流仍存在?
8)去掉二氧化硅钝化膜(用氢氟酸腐蚀)，用去离子水冲净，烘干
。测管芯，沟道电流消失。
9)判断这些器件失效是因为二氧化硅内钠离子沾污引起的沟道电
流。
出自http://www.bjsgyq.com/北京显微镜百科