标题：高分辨率晶体结构像技术和会聚束技术-电子显微镜观察
信息分类:站内新闻
作者:yiyi发布
时间:2015-7-27 2:27:28
将本页加入收藏
下一篇：扩散和氧化是制造集成电路的基本工艺-电路板检测显微镜
上一篇：电子显微镜装有精确观察装置研究结晶学衬度
点击查看产品参数和报价--丨--
---
---
---
正文:
高分辨率晶体结构像技术和会聚束技术-电子显微镜观察
在扫描电镜中，当采用选区电子通道光路(即单偏转摇摆聚
焦电子束光路)去观察各种位向钨晶体的电子通道花样时，最初
在接近位向的晶粒中观察到一种奇异花样叠加在正常的电
子通道花样上
此外，根据实际观察表明，奇异花样的最佳成像条件不是在
电子束的摇摆枢点刚好在试样表面(这是在观察电子通道花样
时，通常所采用的电子光学条件之一)，而是稍有偏离。其次，如
果减小扫描线圈电流以减小电子束的摇摆角范围，则可以获得更
强烈的奇异花样。根据上述实验事实可以推测，虽然奇异花样和
电子通道花样可能是属于同一种电子的背散射效应，但它们之间
的衬度效应来源不同。对于奇异花样，其中心花样不是反映在晶
体中所有可能的原予散射效应，而主要是反映在一定电子束摇摆
角锥范围内的原子散射所贡献的效应。
近代材料科学的发展，已要求深入到更高的物质层次，如晶
体中点群和空间群，以及晶体中单个原子状态去研究材料的性
能。俗语说得好： “百闻不如一见”。因此，如何直接观察晶体
中原子，或分析其空间点群，是当前电子显微镜观察技术的重要
发展方向之一。目前，这类工作都是在透射电镜中进行，相应的
观察技术有高分辨率晶体结构像技术和会聚束技术，前者能直接
看到晶体原子排列的投影像，后者可以看到晶体的衍射像，并获
得有关晶体的点阵和空间群的知识。
根据透射电镜的成像理论，只有在电镜具有高分辨率(几个
埃)和电子束能量足够大(例如几十万电子伏特到几百万电子伏
特)，以及试样足够薄(50～100埃)的特殊条件下，才有可能看到
反映原子排列的投影像和衍射像。由于扫描电镜的分辨率比较低
(目前最高是30埃)，工作电压也不高(30千伏)，因此，过去认为
扫描电镜要实现上述观察是困难的。
出自http://www.bjsgyq.com/北京显微镜百科