标题：上海光学仪器厂生产的6J型显微镜的应用有哪些-光学仪器
信息分类:站内新闻
作者:yiyi发布
时间:2015-7-21 14:15:23
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正文:
宽、高度、厚度以及小的倾角。
干涉显微镜
干涉显微镜的结构原理利用光波的干涉现象，把表
面微观不平度以光波干涉条纹表现出来，经放大后进行测
量，这种测表面光洁度的显微镜，称为干涉显微镜。
干涉显微镜根据光路系统不同，分为双光束干涉显微镜
和多光束干涉显微镜两类，生产中常用双光束干涉显微镜。
目前国内使用的双光束显微镜的型号很多，有国产的，也有
外国的，但它们的结构原理、基本参数和使用方法基本上相
同。我们仅以上海光学仪器厂生产的6J型干涉显微镜为例，
介绍这类仪器的结构原理和测量表面粗糙度的方法。
光学系统由光学干涉系统和光学显微系统两部分组成。
光学干涉系统包括聚光镜、物镜、分光镜、补偿
镜、物镜及标准镜和物镜。光学显微系统主要是目
镜组和照相机。
由光源发出的光束经聚光镜后成为平行光。该平行
光投射到孔径光栏的平面上，照明位于投影物镜焦平面
上的视野光栏，通过投影物镜后射到分光镜上。分光镜
把射到上面的光分成二部分。一部分反射，一部分透射。
当被测表面不是理想平面，而是凸凹不平，则干涉条纹
发生曲折。干涉条纹的曲折程度与表面的微观不平度有关。
例如，在一理想平面上有两条深度分别为0．3和0．15微米的
戈Ⅱ痕，用干涉显微镜进行观测时，就会看到这两条划痕引起
干涉条纹的曲折刚好是一条干涉条纹和半条干涉条纹。因
此，可通过测量干涉条纹的数目或干涉条纹的曲折程度来评
定表面微观不平度的高度。
出自http://www.bjsgyq.com/北京显微镜百科