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集成电路的生产,采用同时制造大量芯片的批最生产方式,
因而易于大量生产,但在将各芯片进行气密封装时,却无法采用
批量生产方式,而必需有很多工人花费大量工时逐个制作。因此,
有嵘要对大片内各芯片的特性检测其合格与否,然后进行气密封
装。为了进行这种特性检测,要将多触点自动探针台与集成电路
测试仪连用。现将晶片自动探针台必需具备的性能列举如下:
1)由于是微区之间的接触,所以接触电阻要小,并且接触
要充分,2)用探针接触时,不要损伤压焊点,要考虑探针的压
力及探针形状,使得不扎穿铝蒸发膜和氧化膜,以免与衬底短路,
要以这种合适的条件进行特性检测,3)使用真空吸盘,使晶片
易于固定,4)应使各探针与相同数量的压焊点一一对应,位置
吻合,并且各探针在X, Y, Z方向的微调简单,5)与集成电
路测试仪连用后的测货时间缩短固不待言,但晶片测试台的工作
速度也高,因而处理能力也大;6)能较容易地适应各种类型的
集成电路测试仪。
集成电路自动测试仪的
测量和判断的速度较高,但使被测集
成电路接入测试仪并从测试仪卸下却费时很长,因此不能有效地
利用集成电路测试仪。所以,应用了一种高效率的装卸装置,即
自动装卸器。所谓自动装卸器就是能够自动供料,并挑选被测集
成电路的一种装置,对于一台集成电路测试仪可以连接几台自动
装卸器,通过分时操作使用。
出自http://www.bjsgyq.com/
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