标题：集成电路测试仪检验的晶片分析测量显微镜
信息分类:站内新闻
作者:yiyi发布
时间:2015-6-23 15:41:27
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正文:
接着，将经过检验的晶片，对每个电路进行特性测试，以判
断电路的性能是否正常。这种电路测试很复杂，而且测试的项目
也很多，完全要用自动测试装置(集成电路测试仪)进行。这种
集成电路测试仪，一般与进行成品检测的测试仪是相同的。集成
电路测试仪与各个电路之间靠多探针头和晶片电极压焊点直接接
触。这种装置称为晶片探针台，备有自动传送机构、油墨印码器
(在坏芯片上打汕墨标记)、传感器(有检测晶片有无及改变方向
的功能)等，
把梁式引线芯片置于显微镜的样品台上，如图b-1所示。
样品台能在XY方向移动，并能旋转。把显微镜的目镜上刻好的
叉丝作为基准，使之与芯片上的线条对准，然后保持这个位置，
在芯片背面置有键合探头，用探头中心的吸管吸住芯片。对于基
片的端点也进行同样的位置对准。首先，使吸住芯片的探头下降
到基片面，保证经如此对准后的芯片和基片间的套合精度为2.5
μm。基片的端点引线和芯片的引线大体相同。
出自http://www.bjsgyq.com/北京显微镜百科