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电子产品的制造,特别是随后处理,或加工工序前的
表面制备,清洗工艺是必不可少的。清洗不好,随后的工
艺就会造成很大浪费,只有通过适当的工程净化系统,才
能在表面制备过程有效地去除表面污染,选择合适的洗涤
剂是一个复杂问题。它涉及各个方面,例如表面制备,可
靠性,功能和外形,这些都必须考虑,在选择适当的洗涤
剂时,应该了解该除去的脏物或污染类型是有机性质(油、
脂膏),还是无机性质(盐、锈、微小粒子)。当然,洗
涤剂本身以及洗涤箱与辅助设备的结构材料,不应留下不
同杂质代替被去掉的污染、最后,应根据要净化的材料来
决定选择什么样的洗涤剂。对黑色或有色
金属、既有黑色
又有有色金属、台金、塑料、陶瓷衬底、玻璃、半导体材
料都应采用不同洗涤剂或不同混合物来进行净化。
为了进行有效的洗涤,必须选择一定的设备,人们应
根据清洗工件的形状或工件重量,决定使用栈盘、架、夹
具、提篮,还是使用桶。扁平表面的工件,特别是具有高
本征值加工后期,应采用专用架子和以不同于有缝隙或盲
孔的金属工件的加工方式进行清洗。以零件尺寸、数量为
表征的工件重谴以及污物类型也是重要的。正如超声洗涤
例子所捉到的,还」:让有能净化而又不损坏精巧硅片的
能量、
最后,在浸入、浸泡、浸渍、擦、电镀、蒸气脱脂、
超声洗涤、热处理这些清洗方法中选择任一组合,或将上
述方法加以协调的冲洗、气:燥法,就能得到所希望的,
即符合要求的表面洁净度。
出自http://www.bjsgyq.com/
北京显微镜百科