标题：显微镜下微电子学表面分析图像分析计量软件
信息分类:站内新闻
作者:yiyi发布
时间:2015-6-22 1:43:48
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正文:
显微镜下微电子学表面分析图像分析计量软件
术语在多数情况下污染杂质必须用数量表示。使用术
语对一定的问题是有意义的。杂质一般都是以上述材料的
浓度来表示。例如百分比，多数是百万分比（ppm ），有
时也用十亿分比（ppb ）。这种表示法对原材料杂质的均
匀分布是适用的。杂质范围已有规定的原材料的检测，采
用这种表示式也是可以的、用ppm 表示浓度，也就是说多
数材料的杂质是均匀分布的。在显微镜下通常就不是这样，
这种变化在微电子学中非常重要
能否测量表面污染，并计算表面污染物的数量，这是
涉及微电子学检验化学的重要问题。所谓“百万分之一”
必须包括材料体积的计算而且考虑所测杂质和体积的关系。
不能用它代表表面浓度。
粒子往往被认为是表面污染物的点源。这种点源在微
电子学中有很大影响，然而，器件的性能并不取决于污染
物的总平均浓度。即使用显微镜观察，粒子对有源集成电
路的部分区域有影响，似乎在那个区域这种元素出现了100%
的浓度，实际也的确如此。从分析的观点来看，如果用仪
器在衬底上分析土微米。
出自http://www.bjsgyq.com/北京显微镜百科